阪大、EUV露光による次世代半導体製造のスループットを10倍以上向上

記者のつぶやき

先月にたまたまUV露光技術の開発は遅れに遅れている。
最大の理由は、EUV光源の出力が上がらないことが問題であるという記事を目にした。
しかしその1ヶ月後に見事阪大が、１０倍の出力を出せるものを開発したニュースが届いた。
UV露光技術のイノベーションがおきこれから劇的に開発が進むだろう！楽しみだ！